設(shè)備名稱

設(shè)備型號(hào)

工作方式

備  注

催化再生式氬氣凈化機(jī)

CZA-B

手動(dòng)

工作塔一用一備

CZA-C

半自動(dòng)

工作塔一用一備

CZA-D

手動(dòng)

工作塔一組

CZA-Z

全自動(dòng)

工作塔一用一備

原氣要求

純  度

≥99.9%一般瓶裝純氬、液氬、較好的管道氬

雜質(zhì)要求

O2<1000PPm, H2O<1000PPm

輸出純氣

雜質(zhì)含量

O2≤0.5PPm

H2O≤2PPm(即露點(diǎn)≤－70℃)

CO+CO2≤0.1PPm

塵埃粒子數(shù)（≥0.3μm）3-5個(gè)／升

S、P的氧化物≤0.1PPm

純  度

≥99.9998%

工作壓力

0～1.0MPa

處理氣量

1～100Nm3/h  根據(jù)用戶需求設(shè)計(jì)制造

備 注

此系列設(shè)備不能除氮，氬氣中除氮應(yīng)選擇4N/FX系列機(jī)型。